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0510-88276101光潤與您分享磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法
發(fā)布時間：2019-09-03瀏覽次數(shù)：載入中...來源：http://m.119zw.com/
磁控濺射是PVD的一種,磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。
磁控濺射鍍膜工藝在日常操作過程中有哪些常見的故障呢？
磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法
1.無法起輝
（1）直流電源故障，檢查直流電源；
（2）氬氣進(jìn)氣量小，檢查氬氣流量計或加大氬氣進(jìn)氣量；
（3）真空室清潔度不夠，清潔真空室；
（4）靶材絕緣度不夠，檢查靶是否與地短路，在通水的情況下，對地電阻應(yīng)該在 50kΩ以上；
（5）磁場強(qiáng)度不夠，檢查永磁體是否消磁；
（6）真空度太差，檢查真空系統(tǒng)。
2.輝光不穩(wěn)
（1）電壓電流不穩(wěn)，檢查電源；
（2）真空室壓力不穩(wěn)，檢查氬氣進(jìn)氣量及真空系統(tǒng)；
（3）電纜故障，檢查電纜是否連接良好。
3.成膜質(zhì)量差
（1）基片表面清潔度差，清潔基片表面；
（2）真空室清潔度差，清潔真空室；
（3）基片溫度過大或過小，檢查溫控系統(tǒng)，校準(zhǔn)熱電偶；
（4）真空室壓力過大，檢查真空系統(tǒng)；
（5）濺射功率設(shè)置不當(dāng)，檢查直流電源，設(shè)置何事的設(shè)定功率。
4.濺射速率低
（1）氬氣進(jìn)氣量過大或過小，觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小，據(jù)此調(diào)整氬氣進(jìn)氣量；檢修流量計；
（2）靶材過熱，檢查冷卻水流量；
（3）檢查永磁體是否消磁。
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磁控濺射鍍膜工藝在日常操作過程中有哪些常見的故障呢？
磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法
1.無法起輝
（1）直流電源故障，檢查直流電源；
（2）氬氣進(jìn)氣量小，檢查氬氣流量計或加大氬氣進(jìn)氣量；
（3）真空室清潔度不夠，清潔真空室；
（4）靶材絕緣度不夠，檢查靶是否與地短路，在通水的情況下，對地電阻應(yīng)該在 50kΩ以上；
（5）磁場強(qiáng)度不夠，檢查永磁體是否消磁；
（6）真空度太差，檢查真空系統(tǒng)。
2.輝光不穩(wěn)
（1）電壓電流不穩(wěn)，檢查電源；
（2）真空室壓力不穩(wěn)，檢查氬氣進(jìn)氣量及真空系統(tǒng)；
（3）電纜故障，檢查電纜是否連接良好。
3.成膜質(zhì)量差
（1）基片表面清潔度差，清潔基片表面；
（2）真空室清潔度差，清潔真空室；
（3）基片溫度過大或過小，檢查溫控系統(tǒng)，校準(zhǔn)熱電偶；
（4）真空室壓力過大，檢查真空系統(tǒng)；
（5）濺射功率設(shè)置不當(dāng)，檢查直流電源，設(shè)置何事的設(shè)定功率。
4.濺射速率低
（1）氬氣進(jìn)氣量過大或過小，觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小，據(jù)此調(diào)整氬氣進(jìn)氣量；檢修流量計；
（2）靶材過熱，檢查冷卻水流量；
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