采用反應(yīng)氣體等離子源輔助沉積，對工件進行預(yù)清洗及鍍膜時的輔助沉積；采用大功率的脈沖偏壓電源，增強膜層的附著力；采用多套孿生靶及弧，可同時安裝2-6種不同純金屬或合金靶材，獲得復(fù)合納米鍍層；工件架采用公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，稱重能力強及耐高溫，并可移動出腔體，方便裝卸比較重的模具，或根據(jù)客戶要求定制，采用變頻器調(diào)節(jié)，轉(zhuǎn)速無極可調(diào)節(jié)；采用觸摸屏及PCL，可實現(xiàn)全自動控制，自動和手動隨時切換。